铌酸锂 (LiNbO3) 晶圆

晶鑫新材料是专业铌酸锂晶圆制造商,供应SAW级和光学级铌酸锂单晶晶圆,直径3"至8",同时供应晶棒和MgO掺杂铌酸锂,满足特殊光学应用需求。晶体生长、切片、抛光、检测全流程自有产线完成,产自浙江诸暨ISO认证工厂。

材料
铌酸锂
最大直径
8"
等级
声表面波 · 光学级 · MgO掺杂
LiNbO3 wafers stacked in cassette carrier

铌酸锂(LiNbO3)晶圆是我们的主力产品,SAW级、光学级都有供应,直径3"到8",广泛用于SAW器件、光学器件和射频元件。晶体生长、切片、研磨、抛光到检测全部在自有产线完成,SAW级和光学级共用同一套原料标准,只是后段加工工艺不同。

声表面波(SAW)及光学级全流程自主生产
支持定制晶向与厚度
MgO掺杂型号适用于高功率光学应用
可选等级:SAW级与光学级
晶圆尺寸:3"至8"直径
应用领域:声表面波(SAW)、光学与射频
产品对比

铌酸锂或钽酸锂晶圆?

同为SAW级压电晶圆材料,铌酸锂和钽酸锂在带宽、频率和直径上各有侧重,按实际器件需求选型即可

铌酸锂 (LiNbO3) 晶圆 — 本页

机电耦合系数更高,带宽更宽,适合SAW滤波器、射频前端模块和光学调制器。直径最大支持8",是三种材料里可供尺寸最大的铌酸锂晶圆产品线。

钽酸锂(LiTaO3)晶圆

耦合系数依然不弱,温度特性和铌酸锂不同,常用于高频滤波器设计和热释电红外传感器。直径最大6"。

查看钽酸锂晶圆规格 →
SAW级

SAW级铌酸锂晶圆

SAW(声表面波)器件通过在压电晶圆上刻蚀叉指换能器实现滤波功能。晶圆平整度和晶格质量越好,滤波器的插入损耗越低、带外抑制能力越强。我们的SAW级铌酸锂晶圆抛光至S/D 20/10表面质量,平行度≤10角秒,晶向以Y41°、Y64°、Y128°等高频滤波器常用切型为主,也支持按客户目标频段定制切型。 声表面波滤波器与射频前端 应用用的就是这个等级的材料。

SAW grade LiNbO3 wafer in cassette carrier
4-inch SAW grade LiNbO3 crystal
直径3", 4", 6", 8"
晶向X / Z / Y / Y41° / Y64° / Y128°
厚度0.18 / 0.25 / 0.35 / 0.50 / 1.00 mm
厚度公差±0.005 mm
TTV≤2 µm
翘曲度≤10 µm
表面质量S/D 20/10
抛光双面
平行度≤10角秒
光学级

光学级铌酸锂晶圆

光学级铌酸锂不追求SAW级的表面公差,而是把光学均匀性(Δn≤5×10⁻⁵)和吸收损耗(633nm波长下<0.1%/cm)控制得更严格——这两项指标决定光在调制器或波导里传播得干不干净。晶向选择直接影响电光系数的利用效率,X切和Z切在实际器件中的电场施加方向不同,需要结合具体设计确认。 光通信与薄膜铌酸锂光子学 应用用的就是这个等级的材料。

Optical grade LiNbO3 and LiTaO3 crystals
材料铌酸锂
直径3", 4"
晶向X切型 / Z切型 / Y切型
厚度0.5 / 1.0 mm
厚度公差±0.01 mm
光学均匀性Δn ≤ 5×10⁻⁵
光吸收< 0.1%/cm(波长为633nm时)
TTV≤2 µm
表面质量S/D 20/10
抛光双面
更多细节

铌酸锂晶圆实拍细节

晶圆出货前的包装状态、边缘处理和抛光表面质感实拍,供采购前参考。

晶棒

铌酸锂晶棒

晶体贸易商、科研实验室,或者自己有切片抛光产线的制造商,有时候要的是原始铌酸锂晶棒而不是成品晶圆。我们供应研磨、粗抛光、精抛光三种表面状态的铌酸锂晶棒,直径覆盖3"到8",晶棒表面光滑、无气泡裂纹,你可以从适合自己产能的阶段接手加工。不想投入切片抛光设备的话,把目标规格发给我们, 晶圆加工服务 能处理从切片到检测的全部流程,材料用你的也行,也可以用我们供应的铌酸锂原料代工。

6-inch LiNbO3 crystal ingot, smooth surface, no bubbles or cracks
直径3", 4", 6", 8"
晶向X切型 / Z切型 / Y切型
长度50–120 mm
直径公差±0.5 mm
一致性±0.5 mm
表面研磨 / 粗抛光 / 精抛光
特种产品

掺镁铌酸锂晶圆

标准铌酸锂晶圆在高光强下容易出现光折变损伤,折射率局部变化,器件性能会随时间变差。掺入氧化镁能大幅提高光学损伤阈值,这就是高功率激光系统和光折变应用普遍选MgO掺杂铌酸锂、而不用标准铌酸锂晶圆的原因。我们供应4.9%、5.0%、6.0%三档摩尔浓度的MgO掺杂铌酸锂晶圆,X切和Z切两种晶向,直径3"、4"可选,具体选哪档掺杂浓度取决于你的目标光功率密度和器件设计,可以联系我们的工艺团队帮你确定。

MgO-doped LiNbO3 wafer, high optical damage threshold
材料MgO掺杂铌酸锂
兴奋剂4.9 mol% / 5.0 mol% / 6.0 mol%
直径3", 4"
晶向X切型 / Z切型
厚度0.5 / 1.0 mm
厚度公差±0.01 mm
TTV≤2 µm
表面质量S/D 20/10
抛光双面
常见问题

常见问题解答

关于材料等级、定制参数和交付方式的常见问题。

SAW级和光学级铌酸锂有什么区别?

SAW级针对滤波器和谐振器的压电性能优化;光学级优先保证光学均匀性和低吸收率,适用于光子学应用。

能不能只买晶棒,不要成品晶圆?

可以——参考上方"晶棒"板块,或者寄送你自己的材料通过我们的 晶圆加工服务.

MgO掺杂铌酸锂用在什么地方?

MgO掺杂能提高光学损伤阈值,适用于标准铌酸锂会被损坏的高功率光学和光折变应用场景。

有没有黑化铌酸锂晶圆?

提供——切片、研磨、抛光、清洗、检测都可以用你自己的材料,详见 黑色铌酸锂晶圆 页面,了解还原处理黑化工艺。

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告诉我们等级、直径、晶向和厚度——我们会尽快回复报价。

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